HEPA & ULPA 过滤器
HEPA过滤器是生物安全柜的核心部分。HEPA过滤器是可处理的干型过滤器，是由叠片状硼硅微纤维制成的，像纸一样。
HEPA: 高效空气净化：现代美国惯例 HEPA: 对直径为0.3微米微粒99.99%的过滤效率
ULPA: 超低空气泄漏：现代美国惯例 ULPA: 对直径为0.12微米微粒99.999%的过滤效率
HEPA & ULPA 过滤器的构造
Fig 5. 包装物粘合成过滤网外框----外框与气密垫片组装成最终过滤箱体 Pack is glued into a frame - Frame is gasketed to form final assembly
HEPA/ULPA 过滤器是专门为去除多种空气中的污染成分而设计的，可以去除的成分包括：
标准粉尘
卷烟烟气
细菌（细菌大小：500到0.3微米）
煤灰
花粉
放射性微粒
杂质离子 -〉会影响到集成电路的速度
