3.2聚光镜
作用是将光源(电子束)会聚到样品上并调节光源在样品上的照明直径。
设荧光屏的尺寸为 D=160mm,放大倍数为1000X,则样品需要照明区域为:
d=D/M=160/1000=160um
而放大倍数为100KX,则样品只需要照明区域为:
d=D/M=160/100000=1.6um
电子枪的“有效光源”尺寸,即交叉斑的尺寸为50m 左右,显然这样尺寸的光源照射在样品上是不合适的。
3.3样品室
能在保持电镜真空的前提下更换观察的样品,并能进行样品的移动、倾斜、旋转。
3.4物镜
靠近样品的放大磁透镜。形成样品一次放大图像。
一般是强励磁,短焦距磁透镜。为了得到放大图像,样品放在靠近物镜位置(满足 a <2f ),一般放在物镜的前焦距附近。
物镜放大倍数一般为100X-200X。
3.5中间透镜
中间透镜是一个可变倍率的弱透镜。它的作用是将物镜成的一次像再放大,并成像于投影镜的物平面上。
放大倍数可调,0X-20X之间。
3.6投影镜
近经过中间透镜形成的二次像放大到荧光屏上,形成最终的电子显微图像。放大倍数100-200X
3.7像的记录与观察
通过前玻璃窗观察荧光屏上的像。
荧光屏可将电子的能量转化为可见光。
由电子感光底片记录图像,或由CCD相机以数字方式存储。
3.9真空系统
为了防止电子在行进过程中受到气体分子的干扰,电镜内部保持的真空度要在10-5托(10-8大气压)以上。电源系统的高稳定度也是保证图象质量的重要因素之一。目前一些高性能电镜的样品室真空度可优于10-7托,电源稳定度已达10-6/分钟。

