1.斥力模式原子力显微镜（AFM）
微悬臂是原子力显微镜（AFM）关键组成部分之一，通常由一个一般100~500μm长和大约500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。微悬臂顶端有一个尖锐针尖，用来检测样品－针尖间的相互作用力。对于一般的形貌成像，探针尖连续（接触模式）或间断（轻敲模式）与样品接触，并在样品表面上作光栅模式扫描。通过计算机控制针尖与样品位置的相对移动。当有电压作用在压电扫描器电极时，它会产生微量移动。根据压电扫描器的精确移动，就可以进行形貌成像和力测量。原子力显微镜（AFM）设计可以有所不同，扫描器即可以使微悬臂下的样品扫描，也可以使样品上的微悬臂扫描。原子力显微镜（AFM）压电扫描器通常能在（x,y,z）三个方向上移动，由于扫描设计尺寸和所选用压电陶瓷的不同，扫描器最大扫描范围x、y轴方向可以在500nm~125μm之间变化，垂直z轴一般为几微米。好的扫描器能够在小于1Å尺度上产生稳定移动。通过在样品表面上扫描原子力显微镜（AFM）微悬臂（或使微悬臂下的样品移动）并且记录微悬臂的形变，可以测量样品表面的起伏高度。将样品的局域起伏高度对应探针尖的水平位置绘图，即可得到样品表面的三维形貌图像。利用轻敲模式技术，测量振荡微悬臂的振幅或相位变化，也可以对样品表面进行成像。
2.摩擦力显微镜
摩擦力显微镜（LFM）是在原子力显微镜（AFM）表面形貌成像基础上发展的新技术之一。材料表面中的不同组分很难在形貌图像中区分开来，而且污染物也有可能覆盖样品的真实表面。LFM恰好可以研究那些形貌上相对较难区分、而又具有相对不同摩擦特性的多组分材料表面。
图1示出了LFM扫描及检测的示意图
一般接触模式原子力显微镜（AFM）中，探针在样品表面以X、Y光栅模式扫描（或样品在探针下扫描）。聚焦在微悬臂上的激光反射到光电检测器，由表面形貌引起的微悬臂形变量大小是通过计算激光束在检测器四个象限中的强度差值（A+B）-（C+D）得到的。反馈回路通过调整微悬臂高度来保持样品上作用力恒定，也就是微悬臂形变量恒定，从而得到样品表面上的三维形貌图像。而在横向摩擦力技术中，探针在垂直于其长度方向扫描。检测器根据激光束在四个象限中，（A+C）-（B+D）这个强度差值来检测微悬臂的扭转弯曲程度。而微悬臂的扭转弯曲程度随表面摩擦特性变化而增减（增加摩擦力导致更大的扭转）。激光检测器的四个象限可以实时分别测量并记录形貌和横向力数据。
